膜料点不良也是镀膜产品的一个常见问题，在日企、台企把膜料点成为"斑孔"；也就是说，膜料点就是蒸镀中，大颗粒膜料点随着膜料蒸汽分子一起蒸镀到了基本的表面，有时是个别点，严重时是成片的细点，大颗粒点升至可以打伤基片表面。
各种膜料的蒸发特性是不一样的，特别是熔点温度和蒸发温度有较大差异 熔点温度大于蒸发温度的材料，由固态直接气化蒸发，是升华材料； 熔点温度小于蒸发温度的材料，由固态先化成液态然后在转化成气态蒸发，是非升华料； 熔点温度与蒸发温度相同的材料，由固态到气态蒸发，边融化边蒸发，是半升华材料。 其中非升华材料最容易产生膜料点，因为液态的膜料继续加热会沸腾，沸腾中膜料的气泡溢出，飞溅膜料点的可能性加大，有时在材料预熔时就有很大的飞溅。膜料受潮，预熔或者蒸镀时水溢出，也会造成飞溅产生。
以下表中是几种常见膜料的升华特性：
膜料不纯、膜料掺杂，即膜料中有了熔点温度。蒸发温度不一致的材料，这也是膜料点产生的原因。
改善思路：选用好的膜料，充分预熔、控制速率。
改善策略：
1.选择杂志少的膜料
2.对易飞溅的膜料选择颗粒合适的膜料
3.膜料在镀用前用网筛筛以下
4.精心预熔，MgF2务必熔透一次蒸镀所需膜料，而Ta2O5和TiO2必须彻底熔透
5.用一把电子枪镀制几种膜料时，防治坩埚转动中膜料及挡板掉下膜料渣渣造成膜料污染，一旦发现坩埚膜料有污染，应立即更换
6.尽最大可能使蒸发舟、坩埚干净
7.选择合适的蒸发速率及速率曲线的平滑，特别是非升华材料，蒸发速率不宜高
8.膜料去潮，将待用膜料用培养皿盛放在真空室干燥
注意：有时膜层内有一些细小的点子，有可能不是膜料点，而是灰尘点，处理的方法与膜料点是不同的，应严格区分，分别处理
